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表面粗糙度檢測方法

  表面粗糙度反映的是機(jī)械零件表面的微觀幾何形狀誤差,表面粗糙度檢測方法很多,主要方法如下:

  1、比較法

  將表面粗糙度比較樣塊(簡稱樣塊)根據(jù)視覺和觸覺與被測表面比較,判斷被測表面粗糙度相當(dāng)于哪一個數(shù)值,或測量其反射光強(qiáng)變化來評定表面粗糙度。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊,表面經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工,電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經(jīng)過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(jù)視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便,但會受到主觀因素影響,常不能得出正確的表面粗糙度數(shù)值。對測量精度要求不高的可以使用這種方法。

  2、光切法

  光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上,以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后,以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面,形成被測表面的截面輪廓圖形,然后通過物鏡將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出 h 值,計算后得到 H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量 RZ 和 Ry 為 0.8~100 μm 的表面粗糙度,需要人工取點(diǎn),測量效率低。

  3、干涉法

  利用光波干涉原理(見平晶、激光測長技術(shù))將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數(shù)高(可達(dá)500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測量,以得出被測表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025~0.8 μm 的表面粗糙度

  4、觸針法

  利用針尖曲率半徑為 2 μm 左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值,也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀,同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀(簡稱輪廓儀)適用于測量 Rα 為 0.025~6.3 μm 的表面粗糙度

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